MgF2 Supstrat
Opis
MgF2 se koristi kao leća, prizma i prozor za valne duljine od 110nm do 7,5μm.Najprikladniji je materijal kao prozor za ArF Excimer laser, zbog dobrog prijenosa na 193 nm.Također je učinkovit kao optički polarizator u ultraljubičastom području.
Svojstva
Gustoća(g/cm3) | 3.18 |
Talište (℃) | 1255 |
Toplinska vodljivost | 0,3 Wm-1K-1 pri 300K |
Toplinska ekspanzija | 13,7 x 10-6 /℃ paralelno c-osi 8,9 x 10-6 /℃ okomito na c-os |
Tvrdoća po Knoopu | 415 sa 100g utiskivača (kg/mm2) |
Specifični toplinski kapacitet | 1003 J/(kg.k) |
Dielektrična konstanta | 1,87 na 1MHz paralelno c-osi 1,45 na 1MHz okomito na c-os |
Youngsov modul (E) | 138,5 GPa |
Modul smicanja (G) | 54,66 GPa |
Bulk modul (K) | 101,32 GPa |
Koeficijent elastičnosti | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
Granica prividne elastičnosti | 49,6 MPa (7200 psi) |
Poissonov omjer | 0,276 |
Definicija supstrata MgF2
Supstrat MgF2 odnosi se na supstrat izrađen od kristalnog materijala magnezijevog fluorida (MgF2).MgF2 je anorganski spoj sastavljen od elemenata magnezija (Mg) i fluora (F).
Supstrati MgF2 imaju nekoliko značajnih svojstava koja ih čine popularnima u raznim primjenama, posebno u poljima optike i taloženja tankog filma:
1. Visoka prozirnost: MgF2 ima izvrsnu prozirnost u ultraljubičastom (UV), vidljivom i infracrvenom (IR) području elektromagnetskog spektra.Ima široki raspon prijenosa od ultraljubičastog na oko 115 nm do infracrvenog na oko 7500 nm.
2. Nizak indeks loma: MgF2 ima relativno nizak indeks loma, što ga čini idealnim materijalom za AR premaze i optiku, budući da smanjuje neželjene refleksije i poboljšava prijenos svjetlosti.
3. Niska apsorpcija: MgF2 pokazuje nisku apsorpciju u ultraljubičastom i vidljivom spektralnom području.Ovo svojstvo ga čini korisnim u aplikacijama koje zahtijevaju visoku optičku jasnoću, kao što su leće, prizme i prozori za ultraljubičaste ili vidljive zrake.
4. Kemijska stabilnost: MgF2 je kemijski stabilan, otporan na širok raspon kemikalija i zadržava svoja optička i fizikalna svojstva u širokom rasponu uvjeta okoline.
5. Toplinska stabilnost: MgF2 ima visoko talište i može izdržati visoke radne temperature bez značajne degradacije.
Supstrati MgF2 obično se koriste u optičkim premazima, procesima taloženja tankog filma i optičkim prozorima ili lećama u raznim uređajima i sustavima.Oni također mogu poslužiti kao međuslojevi ili predlošci za rast drugih tankih filmova, kao što su poluvodički materijali ili metalne prevlake.
Ovi se supstrati obično proizvode pomoću tehnika kao što su taloženje parom ili fizičke metode prijenosa pare, gdje se materijal MgF2 taloži na odgovarajući materijal supstrata ili se uzgaja kao pojedinačni kristal.Ovisno o zahtjevima primjene, podloge mogu biti u obliku napolitanki, ploča ili prilagođenih oblika.